请教各位专家,集成电路制造气相沉积废气种类里有硅烷和磷烷,环评里有浓度限值要求,但是是参考荷兰排放导则的,大气综合排放标准里没有这两个污染物的,技术规范里这部分废气种类依据GB16297确定,地方污染物排放标准有更严格要求的,从其规定。荷兰排放导则也不是地方排放标准,那么许可证里硅烷和磷烷这两个污染物要写进去吗?
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规范有要求都要填进去!
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