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干式真空泵是相对液环泵而言，泵的工作腔内不需要密封冷却液而得名。干式真空泵由于没有密封液，且排气压力大于大气压，就可以在排气侧对排出的气体进行冷凝。
干式真空泵有活塞式、罗茨泵、爪式和双螺杆式等。干式螺杆真空泵具有运行效率高、寿命周期长和成本低的优点，已逐渐成为应用最广泛的干式真空泵。
干式螺杆真空泵的转子是一对间隙很小且互不接触的螺杆，通过同步齿轮变速后，推动气体向出口运动。它的优点是：
1、可以在大气压和极限真空下全速运行；
2、单级可以达到较高的真空度，极限压力可以<10Pa；
3、泵工作腔内没有油或水接触工艺气体；
4、转子互不接触，减少了磨损；转子可以镀氟、镍等防腐层；
5、泵内气体通道短，可以快速排气；
6、既可以单独运行，也可以作为前级泵运行。
干式螺杆真空泵有等螺距和变螺距两种，又称外部压缩螺杆和内部压缩螺杆。变螺距螺杆泵与等螺距螺杆相比，排气温度更低，效率更高。
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